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無(wú)塵室又可稱做潔凈室(Clean Room)、清凈室、無(wú)塵車間，無(wú)塵室是指將一定空間范圍內(nèi)之空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等之污染物排除，并將室內(nèi)之溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi)，而所給予特別設(shè)計(jì)之房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化，其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。無(wú)塵室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度，使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造，此空間我們稱之為無(wú)塵室或無(wú)塵車間、潔凈室、清凈室。無(wú)塵室控管之項(xiàng)目：1、能除去空氣中飄游之微塵粒子。 2、能防止微塵粒子之產(chǎn)生。 3、溫度和濕度之控制。4、壓力之調(diào)節(jié)。5、有害氣體之排除。6、結(jié)構(gòu)物與隔間之氣密性。7、靜電之防制。8、電磁干擾預(yù)防。9、安全因素之考慮。10、節(jié)能之考量。